真空箱式氦检漏系统
以下是科创真空为您一起分享的内容,锐诚真空公司专业生产销售氦检漏设备,欢迎新老客户莅临。
机械系统主要由以下四个单元构成:真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空箱:采用不锈钢材质制造,其内表面在加工后经抛光和清洗处理,保证了良好的本底和ji少的藏气,提高了真空箱的抽空效率。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。
1.3 检漏单元
真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元,氦质谱检漏仪采用进口产品,自动校准漏孔。技术成熟,性能稳定,安装维护方便,使其和真空箱连接更加协调紧密。
氦气检漏设备的特点和优点
说到氦气检漏设备的特点,首先,我们还需要注意核心部件分子泵,使用原装进口的检漏仪专用的分子泵。美国AD放大器用于有效降低氦气检漏设备的噪声并提高氦气检漏设备的灵敏度。 180度非均匀磁场质谱仪设计用于聚焦和高灵敏度。
氦气检漏设备的检漏口具有较高的耐压性,检漏率范围广,可检出较大的泄漏和较小的泄漏。 离子源灯丝采用氧化钇铱金丝,寿命长,灵敏度高。 独特的三屏切换,信息替换更丰富,检漏更方便; 它具有快速氦气清洗功能和快速响应功能。
氦气检漏设备可实现一键归零; 采用全自动液晶触摸彩屏显示,实现智能自动化,操作更方便,简单可靠; 中英文菜单,菜单可以一键实现,实际使用效果突出。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也
就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、氦的质量小(相对分子质量为4),易于穿过漏孔。这样,氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。